MEMS技术特有材料是支撑微机电系统实现微型化、集成化和多功能化的核心基础，与传统宏观材料相比，这类材料需满足特殊加工工艺、极端尺寸效应及多学科交叉应用需求，形成了独特的材料体系，其特性与选择直接决定了MEMS器件的性能、可靠性和成本，涵盖...
