RFSOI（RadioFrequencySiliconOnInsulator）是一种专为射频应用设计的绝缘体上硅技术，它是在传统硅基半导体工艺基础上，通过在硅衬底和顶层硅之间引入一层二氧化硅（SiO2）绝缘层，形成“硅-绝缘层-硅”...
