MEMS微电机技术作为微机电系统领域的重要分支,通过微型化、集成化的设计实现了传统电机在微尺度下的功能重构，其发展深刻影响着消费电子、医疗设备、汽车电子、航空航天等多个产业，该技术融合了微电子、微机械、材料科学、精密加工等多学科知识，以硅基...
